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纳米材料及其在真空微电子器件中的应用

朱长纯  
【摘要】:本文介绍了纳米材料的种类及其在扫描微探针、异质结、FED、负离子发生器、自持放电型气体传感器以及微机械执行器等方面的应用。

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