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《中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集》1997年
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双工位自动蒸铝台的研制

刘伟  阮献春  
【摘要】:通过分子泵替代油扩散泵,使用自行设计制造的铝膜自动控厚仅等装置和技术,使得蒸铝设备实现单机全过程自动化。
【作者单位】:红光实业股份有限公司
【分类号】:TN141

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