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大功率电真空器件陶瓷介质杆沉积金刚石薄膜研究

谢扩军  季天仁  王志红  
【摘要】:本文研究在多种陶瓷基介质杆上沉积金刚石薄膜,提高其热传导率,最终应用于大功率电真空器件,提高整个器件的散热性能,改善和维持器件固有的功能.

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