0.35微米门孔宽度的劈形场发射冷阴极

张友渝

【摘要】：本文介绍一种用普通光学曝光法制作亚微米门孔宽度的真空微电子器件劈形场发射冷阴极的方法及实验结果。

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前20条

1	朱长纯,吴辉,罗援,周群,杜博民,靳冬奇;硅锥阵列场发射微真空二极管研制[J];云南大学学报(自然科学版);1992年S1期
2	冯涛;戴丽娟;蒋军;王曦;柳襄怀;李琼;;可驱动碳纳米管冷阴极数码管的研制[J];真空电子技术;2006年01期
3	雷达;曾乐勇;夏玉学;陈松;梁静秋;王维彪;;前栅极冷阴极器件中单根纳米线表面电场分布研究[J];液晶与显示;2006年06期
4	蒋名律;张晓兵;雷威;;电子跳跃结构场发射阴极的电子通过率研究[J];电子器件;2006年01期
5	成建波;;冷阴极综述[J];应用光学;1981年01期
6	刘卫东，罗恩泽，赵彤;亚微米门极孔直径真空微电子器件[J];电子器件;1994年03期
7	王小菊;林祖伦;祁康成;陈泽祥;汪志刚;蒋亚东;;电化学刻蚀法制备LaB_6场发射微尖锥阵列[J];发光学报;2007年03期
8	唐功文;真空微电子器件[J];半导体技术;1989年03期
9	夏曼，赵彤;亚微米门极孔径VMED[J];电子器件;1994年03期
10	刘光治，庄学曾，胡汉泉;微波毫米波段真空微电子器件中的电子学问题[J];红外与毫米波学报;1995年05期
11	刘卫东，罗恩泽，郑修麟;阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响[J];真空电子技术;1996年05期
12	关辉,朱长纯,刘君华;真空微电子器件硅锥阴极的工艺研究[J];微电子学;1992年04期
13	;真空微电子发展前景研讨会[J];真空电子技术;1992年01期
14	贾正根;;真空微电子器件的特点及新制造技术[J];真空电子技术;1992年06期
15	S.M.Zimmerman;汤西英;;集成真空微电子器件的制备方法[J];微纳电子技术;1992年04期
16	罗恩泽;;真空微电子器件发展现状及远景了望[J];真空电子技术;1993年04期
17	刘卫东，郑修麟，刘云鹏，罗恩泽;真空微电子器件的场发射理论计算模型[J];电子器件;1994年03期
18	胡问国;在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备[J];电子器件;1994年03期
19	吴海东;新型真空器件在武器装备中的应用[J];电子产品可靠性与环境试验;2004年04期
20	;科技动态[J];真空电子技术;1989年01期

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前10条

1	张友渝;;0.35微米门孔宽度的劈形场发射冷阴极[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
2	廖复疆;;真空微电子器件及其应用[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
3	刘卫东;郑修麟;刘云鹏;罗恩泽;;阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
4	朱长纯;;纳米材料及其在真空微电子器件中的应用[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
5	廖复疆;;前言[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（上册）[C];1995年
6	刘光诒;柯锦松;朱敏慧;朱长纯;淮永进;董晓;林彰达;;90年代中期制造新型金刚石阵列场发射体D—FEA的方法(二)[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
7	何国鸿;陈抗生;;一种自对准栅场致发射阵列的制作工艺[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
8	宫玉彬;王文祥;;真空微电子二极管的隧道效应[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
9	徐翱;陈洪斌;阎磊;胡林林;唐瑞雪;马国武;宋睿;蒋艺;雷文强;金晓;周传明;;0.22THz微电真空折叠波导行波管的模拟研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2011年
10	张彤;毛福明;;高压强下电子诱导脱附的研究方法[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年

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前2条

1	于海波;场发射冷阴极尖锥制备及其性能研究[D];电子科技大学;2006年
2	史宁;真空微电子三极管的计算机模拟及性能测试[D];南京理工大学;2002年

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前1条

1	本报记者刘肖勇通讯员刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年

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