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阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响

刘卫东  郑修麟  刘云鹏  罗恩泽  
【摘要】:本文研究了硅楔形发射体覆几种不同金属材料时的二极管发射特性,并对结果进行了分析和讨论,指出金、镍、铝可能成为较好的阴极发射材料。

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