收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

铝基表面等离子增强化学气相法沉积类金刚石薄膜研究

王娟  张溪文  韩高荣  
【摘要】:正本文以载玻片(7101)、硅片(P型、单面抛光)为衬底,以C_2H_4和高纯H_2作为气源,气体流量比(C_2H_4/H_2)为10/20(sccm),在13.56MHz电容耦合式PECVD单室系统中制备类金刚石DLC薄膜。上述气体分子经辉光放电分解成等离子体,并在直流偏压形成的电场下沉积到衬底上。通过热蒸发法在上述已沉积的DLC膜表面蒸镀共面平行双Al电极以供电导率测试。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 朱昌,严一心,杭凌侠;类金刚石薄膜的拉曼光谱研究[J];表面技术;1998年05期
2 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心,孙鉴;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的结构分析[J];西安工业学院学报;1999年04期
3 乐可锡;;高性能新型金刚石薄膜刀具[J];机械制造;1993年10期
4 朱纪军,左敦稳,王珉;过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的性能分析[J];表面技术;1998年05期
5 黄丽娜,江河清,张治军,徐洮,刘维民;乙腈中电化学法制备类金刚石薄膜[J];化学研究;2004年03期
6 喻志农,沈思宽,孙鉴;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的力学特性[J];机械科学与技术;2001年01期
7 刘贵昂,谢二庆,王天民;类金刚石薄膜的紫外辐照研究[J];功能材料;2002年05期
8 吴玲玲,梁海峰,蔡长龙,徐均琪,杭凌侠,严一心;钛镍合金上制备类金刚石薄膜的性能研究[J];表面技术;2005年02期
9 居建华,夏义本,张伟丽,王林军,史伟民,黄志明,李志锋,郑国珍,汤定元;掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱研究[J];功能材料;2001年05期
10 郭栋,蔡锴,李龙土,桂治轮;电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响[J];物理学报;2001年12期
11 居建华,夏义本,张伟丽,王林军,史伟民,黄志明,李志锋,郑国珍,汤定元;掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱分析(英文)[J];功能材料与器件学报;2001年03期
12 郭静;汪浩;严辉;;液相电化学沉积类金刚石薄膜的研究进展[J];化学通报;2007年07期
13 刘成龙,杨大智,邓新绿,齐民;医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究[J];硅酸盐学报;2005年05期
14 ;晶体与微声材料[J];电子科技文摘;2006年02期
15 张志明;丁正明;;低压气相合成金刚石薄膜及其评价技术[J];自然杂志;1987年10期
16 朱宏,柳襄怀,任琮欣,陈国梁,邹世昌;单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究[J];金属学报;1995年15期
17 程宇航,吴一平,邹柳娟,陈建国,乔学亮,谢长生,翁惠民;类金刚石薄膜的慢正电子分析[J];无机材料学报;1998年02期
18 许俊芬,居建华,戴雯琦,夏义本;类金刚石薄膜中杂质Fe对其力学性能的影响[J];功能材料;2000年01期
19 朱纪军,左敦稳,王珉;过滤式阴极电弧沉积类金刚石薄膜的碳弧稳定性研究[J];中国机械工程;1999年11期
20 蔡长龙,王季梅,杭凌侠,严一心,徐均琪;类金刚石薄膜硬度的研究[J];表面技术;2002年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
2 胡芳;代明江;林松盛;;微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
3 王娟;张溪文;韩高荣;;铝基表面等离子增强化学气相法沉积类金刚石薄膜研究[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
4 梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5 熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
6 阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
7 姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8 张万虎;谭宇;师建涛;刘永强;胡仓陆;黄祥成;;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
9 王艳丽;苏克和;王欣;刘艳;;金刚石晶体掺杂B、N、P、Al、Si的abinitio研究[A];中国化学会第27届学术年会第14分会场摘要集[C];2010年
10 周鸿飞;马洪涛;;使用拉曼光谱对类金刚石薄膜进行结构分析的方法[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李明;利用rf-PECVD方法在不同基底上制备DLC膜的实验研究[D];东北大学;2008年
2 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
3 李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
4 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
5 李伯刚;类金刚石薄膜血液相容性的研究[D];四川大学;2004年
6 尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
7 刘凡新;高密度硬盘磁头用超薄类金刚石薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年
8 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
9 高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
10 陈秀勇;钛材表面微纳米结构的构建、改性及生物学评价[D];重庆大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 夏天荣;脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中工艺参数对薄膜质量影响的研究[D];合肥工业大学;2010年
2 赵茜;用于OLED封装的类金刚石薄膜的研究[D];电子科技大学;2011年
3 骆仕丹;类金刚石薄膜的相变参数研究和应用[D];西南交通大学;2010年
4 江河清;液相电沉积类金刚石薄膜及掺杂类金刚石薄膜[D];河南大学;2004年
5 唐定平;掺硅类金刚石薄膜研究[D];四川师范大学;2010年
6 张林州;类金刚石薄膜的分子动力学和第一性原理研究[D];燕山大学;2012年
7 蔡言凯;泵体柱塞表面涂层技术研究[D];长春理工大学;2009年
8 吴远方;AZ91镁合金表面类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];南京理工大学;2010年
9 黄国俊;硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D];西安工业大学;2011年
10 强力;低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];兰州理工大学;2012年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978