收藏本站
《第六届华东三省一市真空学术交流会论文集》2009年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微波同轴表面波等离子体镀膜设备

任兆杏  张俊彦  王舟  任炟  
【摘要】:正一、装置的基本原理当一根石英管处于真空腔中,在石英管中通入微波,处于真空腔内的石英管外表面就形成了表面波。当真空腔体中的气压适当时表面波就能在石英管的表面产生等离子体;当多根石英管靠近平行放置形成石英管阵列,多根表面波等离子体将互相叠加,在石英管附近就可以获得大区域均匀的高密度微波等离子体。这种微波等离子体由于密度高,面积大,能辅

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王守忠;;柴油机气缸套等离子多元共渗研究[J];热加工工艺;2008年16期
2 郭逢辉;;感耦等离子体光谱的三个主要参数[J];新疆有色金属;1984年01期
3 孙春波;等离子体富集钽铌合金的测定[J];江西有色金属;1988年02期
4 周大中,孙军,黄子平;单电源等离子-MIG焊方法[J];焊接学报;1990年03期
5 张永康,张雷洪,周建忠,冯爱新,张凌峰,葛涛,任旭东;激光斜冲实验与理论研究[J];中国激光;2005年10期
6 王教景;;等离子体堆焊工艺研究[J];焊接;1969年06期
7 B.E.波留塔 ,B.B.别罗夫 ,宁书强;用于分离工序的经济模具[J];模具工业;1993年02期
8 白辰东;陈华;何家文;;等离子体化学气相沉积设备改进及其效果[J];中国表面工程;1993年01期
9 陆宗仪,李文梅,安世民,郭宝海,夏元良,徐军,梅雨;一种新型的激光——等离子体辅助化学气相沉积装置的研究[J];材料科学与工艺;1997年01期
10 冯明海;方亮;刘高斌;侯爱国;张勇;王万录;;金刚石刻蚀技术研究[J];材料导报;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 任兆杏;张俊彦;王舟;任炟;;微波同轴表面波等离子体镀膜设备[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
2 田修波;Paul K.Chu;杨士勤;;基于等离子体注入技术的复合表面处理[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
3 段爱琴;陈俐;巩水利;;YAG-MIG复合焊接条件下复合等离子体动态特征[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
4 田修波;杨士勤;Ricky Fu;Paul K.Chu;;基于等离子体注入技术的绝缘材料表面处理[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
5 田修波;杨士勤;黄永宪;;等离子体鞘层和等离子体注入[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
6 王锡胜;张鹏程;王庆富;史伟;李强;申亮;;Be与CuCrZr热等静压扩散连接技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
7 姜平;陈武柱;国静;;激光焊接等离子体电特性数学模型[A];第十次全国焊接会议论文集(第2册)[C];2001年
8 马立彩;刘金合;张赋升;雷党刚;张勇;;活性剂对激光焊接等离子体影响的初步研究[A];第十一次全国焊接会议论文集(第1册)[C];2005年
9 来永春;杜建成;施修龄;华洺;丁晓纪;;等离子体在微弧氧化中的作用[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
10 田修波;Paul k.Chu;杨士勤;;等离子体离子注入硬件设计应用的几个误区——(1)高压脉冲电源[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 宝钢股份公司热轧厂 杜国华 张永兴;推广探伤技术 让轧辊延年益寿[N];中国冶金报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王春明;基于多传感器的激光焊接质量实时诊断及其理论基础[D];华中科技大学;2005年
2 张高会;钛及钛合金Ti6A14V双层辉光离子无氢渗碳及无氢碳氮共渗的研究[D];太原理工大学;2004年
3 高明;CO_2激光—电弧复合焊接工艺、机理及质量控制规律研究[D];华中科技大学;2007年
4 徐晋勇;双层辉光离子Cr-Mo共渗形成高耐磨LD冷作模具钢的研究[D];太原理工大学;2007年
5 付勇;纳米尺度周期性金属结构异常光传输现象的FDTD数值分析[D];山东大学;2008年
6 贺庆;基于表面波的薄壁容器压力测量方法[D];浙江大学;2007年
7 安伟伟;激光诱导材料靶上合成及其表面微结构的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 方俊飞;薄板激光深熔焊接熔透模式的机理研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 谢华林;高分辨电感耦合等离子体质谱在高纯金属分析中的应用研究[D];中南大学;2009年
10 苗玉刚;铝合金激光-TIG双面焊接特性与能量作用机制研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张刚;激光深熔焊接光致等离子体温度测量的试验研究[D];湖南大学;2004年
2 王木;激光等离子体引燃TIG电弧特性研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3 刘博宇;大气压等离子体抛光工艺仿真分析[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 刘宁;电液压脉冲水射流发生器及破岩研究[D];重庆大学;2008年
5 靖爱;液中脉冲放电制备TiC陶瓷涂层及其滑动磨损性能研究[D];广东工业大学;2005年
6 曹政;不同磁场组态的Cr磁控溅射等离子体的诊断与分析[D];西安理工大学;2010年
7 卢泽杰;电晕等离子体荷电雾化机理及涂油机结构有限元分析[D];武汉科技大学;2006年
8 吕宏振;铝合金激光立焊焊接特性及气孔问题研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 许维革;等离子割炬冷却系统分析[D];沈阳工业大学;2007年
10 易挺;短电弧加工工具电极损耗及补偿方法研究[D];新疆大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026