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《第六届华东三省一市真空学术交流会论文集》2009年
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基于微悬臂梁的压电振动能量采集器的分析与制造

孙健  李以贵  杨春生  刘景全  何丹农  
【摘要】:随着低功耗无线传感器件和微机械电子系统的发展,电池技术的微型化正成为它们进入实用化、产业化的一大障碍。其中一个解决方案是微压电振动能量采集器。首先给出压电式振动能量采集器的工作原理、物理模型和设计原则。用有限元分析软件对理论进行验证,两者吻合较好。采用一种新颖的制造工艺,利用环氧树脂做为中间粘结层的键合工艺将高性能块材PZT与硅片结合,使用1BHF:2HCL:4NH_4CL:4H_2O刻蚀液对PZT进行刻蚀减薄,制作了基于微悬臂梁的压电振动能量采集器。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 邓勇;双层悬臂梁压电能量采集器特性研究[D];上海交通大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 沈修成;方华斌;王亚军;刘景全;;基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试[J];传感技术学报;2008年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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2 贺学锋;李江;赵兴强;温志渝;王晓兰;;带质量块的微型压电式风能采集器研究[J];传感技术学报;2011年07期
3 杜志刚;贺学锋;;带谐振腔的微型压电风能采集器[J];传感技术学报;2012年06期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
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2 谷磊;海洋微结构剪切流传感器及其载体设计方法与实验研究[D];天津大学;2011年
3 黄金鑫;基于空间电磁能的无线传感器自供能技术研究[D];山东大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 丰立东;基于同步电荷提取方法的能量回收技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 王磊;多谐振频率压电振动能量回收结构特性及实验研究[D];北京交通大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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2 王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文;硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J];电子学报;2002年11期
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5 李建东;大规模无线移动ad hoc网络[J];深圳大学学报;2004年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 董璐;基于MEMS的压电型微能量采集器的研究[D];上海交通大学;2007年
2 王佳;PZT压电陶瓷制备工艺及性能研究[D];哈尔滨理工大学;2009年
【二级参考文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 董璐;基于MEMS的压电型微能量采集器的研究[D];上海交通大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前8条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 罗遂斌;埋入式电容器复合电介质材料的制备与性质的研究[D];华南理工大学;2010年
8 吕保林;双酚A型环氧树脂阴极电泳漆保护NdFeB永磁体的研究[D];广西师范大学;2006年
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