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(Ⅱ)新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——无扩散泵、无罗茨泵、清洁、节能的大型蒸发镀膜设备

储继国  龚建华  郑主安  蒋新元  潘尚尧  王树理  王雨  赖小化  
【摘要】:大型蒸发镀膜设备需要配置抽速几万L/s以上的高真空泵。目前,国内外大型蒸发镀膜设备都采用油扩散泵抽气,成为目前高能耗、高油蒸汽污染扩散泵的主要应用阵地。

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