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(Ⅰ)涡轮分子泵——深冷水气阱组合泵的考核和应用

郭盘林  郑主安  潘尚尧  蒋新元  
【摘要】:正涡轮分子泵—深冷水气阱组合泵与分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——介绍二款用于不同真空段的新抽气机组前言在发达国家,由于清洁真空能提高、保证高新技术产品的质量、创造更大的经济效益,磁悬浮涡轮分子泵、低温冷凝泵和它们的前级干泵早已产业化生产,已在大规模集成电路芯片制造、高级光学镀膜、电子束、离子束工艺设备等方面广泛使用,但磁悬分子泵在国内至今还是空白。事实上,并不是所有应用中都需要像集成电路芯片生产那样严格的清洁真空。

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