(Ⅰ)涡轮分子泵——深冷水气阱组合泵的考核和应用
【摘要】：正涡轮分子泵—深冷水气阱组合泵与分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机组——介绍二款用于不同真空段的新抽气机组前言在发达国家,由于清洁真空能提高、保证高新技术产品的质量、创造更大的经济效益,磁悬浮涡轮分子泵、低温冷凝泵和它们的前级干泵早已产业化生产,已在大规模集成电路芯片制造、高级光学镀膜、电子束、离子束工艺设备等方面广泛使用,但磁悬分子泵在国内至今还是空白。事实上,并不是所有应用中都需要像集成电路芯片生产那样严格的清洁真空。
|
|
|
|
| 1 |
;柴油机电控组合泵燃油喷射系统开发[J];内燃机与配件;2011年07期 |
| 2 |
田力;;浅谈气相色谱—质谱联用仪的基本性能[J];大众标准化;2010年S2期 |
| 3 |
叶惠军;;机械压力机液压润滑系统探究[J];装备维修技术;2011年02期 |
| 4 |
;[J];;年期 |
| 5 |
;[J];;年期 |
| 6 |
;[J];;年期 |
| 7 |
;[J];;年期 |
| 8 |
;[J];;年期 |
| 9 |
;[J];;年期 |
| 10 |
;[J];;年期 |
| 11 |
;[J];;年期 |
| 12 |
;[J];;年期 |
| 13 |
;[J];;年期 |
| 14 |
;[J];;年期 |
| 15 |
;[J];;年期 |
| 16 |
;[J];;年期 |
| 17 |
;[J];;年期 |
| 18 |
;[J];;年期 |
| 19 |
;[J];;年期 |
| 20 |
;[J];;年期 |
|
手机打开
快捷付款方式
订购知网充值卡
订购热线
帮助中心