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《真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集》2009年
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适合于差动抽气的分流分子泵的结构与设计(英文)

刘坤  吴春梅  赵隆超  陈瑶  李培印  顾晓光  巴德纯  杨乃恒  
【摘要】:分子泵是当前国内外大量需求的一种高真空泵,功耗小(同等抽速条件下,功率只有扩散泵的几十分之一)、洁净、操作简单方便、易维护。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵逐渐为真空泵制造厂家所重视,其技术投入、资金投入和关注度都是空前的。分子泵的发展很快,以抽速从小到大建立了完整系列,并根据结构和应用场合的不同,研究开发各种复合分子泵、低温分子泵、风冷分子泵、耐腐蚀分子泵等等,以满足不同场合的需要。为了满足实验仪器的真空要求和降低抽气设备的投入,一种可实现差动抽气的分流分子泵被研制出来。这种分子泵通常有2~3个吸气口,每个吸气口的压力不同,可相差几个数量级,从而使需要多个泵来完成的工作由一个真空泵即可完成,提高了抽气效率、降低了用户成本。本文将就分流分子泵的结构与设计方法进行探讨,并对机械结构进行有限元分析。

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