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《真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集》2009年
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激光防护用负滤光片设计与镀制

张佰森  马勉军  熊玉卿  陈焘  叶自煜  
【摘要】:波长型激光防护薄膜在激光防护方面具有工作区透射率高、抗激光损伤阈值高等优势,而负滤光片则是波长型激光防护薄膜的有效选择。针对当前光学遥感系统激光防护需求,研究了用于特定激光波长防护的负滤光片设计理论与方法、负滤光片镀制工艺技术。在激光防护用负滤光片设计、镀制与性能试验等方面取得了初步研究成果。应用等效层理论,具体设计了532nm、1064nm单波长激光防护用负滤光片;其对典型特定激光波的反射率99%,截止带两侧通带内平均透射率85%,满足设计要求。镀制了膜系结构修正简化的负滤光片。所镀制的滤光片具有负滤光片的特性,具有良好的环境适应性;激光损伤试验也表明,其抗激光损伤阈值859MW/cm~2。
【作者单位】:兰州空间技术物理研究所表面工程技术国家重点实验室
【分类号】:O484.41

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