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《真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集》2009年
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采用射频等离子体增强化学气相沉积方法在不锈钢上制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺及性能(英文)

蔺增  王芳  岳向吉  张以忱  巴德纯  In-SeopLee  
【摘要】:本文论述了用射频等离子体增强化学气相沉积方法在不锈钢上制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺及性能。为提高DLC膜与不锈钢的结合力,预先用离子镀方法制备了Ti/TiN/TiC功能涂层作为过渡层。然后,在过渡层上沉积了一定厚度的高质量的DLC薄膜。通过优化沉积参数,所制备的DLC膜与100Cr6钢球对磨时摩擦系数可以述到0.20。用SEM和Raman光谱分析研究了DLC膜的减摩机理和磨损机制,证实了摩擦过程中的石墨化转变在其中发挥着重要作用。从机械和摩擦学应用的角度来看,所制备的DLC膜的良好的抗划擦能力具有重要的应用前景。

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