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《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2009年
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介质移相器用铁电薄膜研究

杨传仁  陈宏伟  张继华  姬洪  王波  贺伟  唐海军  廖宇  
【摘要】:正作为介质移相器用的铁电薄膜材料,必须具有介电常数大、非线性强、介质损耗小、漏电流低等特性。采用射频磁控溅射法制备了介质移相器用钛酸锶钡(Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3,简称BST)铁电薄膜。在对BST薄膜制备工艺研究的基础上,通过对临界晶粒尺寸、界面效应、纳米线自组装现象、择优取向、可靠性、X射线衍射的研究,对BST薄膜进行性能优化,并设计和制作介质移相器。主要研究结果如下:
【作者单位】:电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【分类号】:TN623

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