收藏本站
《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2009年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究

姜金龙  郝俊英  刘维民  
【摘要】:正采用中频磁控溅射TiSi复合靶,在Ar气和CH_4混合气氛中沉积Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜。研究不同CH_4流量对类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能的影响。利用X射线光电子能谱(XPS)分析薄膜的结构和化学键,在UMT-2MT摩擦磨损试验机上,以钢球为对偶,在2 N载荷下,考察

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王智;;射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究[J];河北化工;2011年07期
2 ;类金刚石薄膜[J];液压气动与密封;2011年09期
3 ;《表面技术》2011年第3期[J];表面工程资讯;2011年03期
4 宋也黎;李国伟;晋跃;李长生;;水热法合成花状MoS_2纳米粉及其摩擦学性能[J];机械工程材料;2011年06期
5 廖俊旭;王励申;杨攀龙;焦叶叶;;S-(1H-苯并咪唑-2-基)甲基烷基黄原酸酯的合成及其摩擦学性能初步研究[J];精细化工中间体;2011年03期
6 何忠义;熊丽萍;王俊肖;李超龙;仇建伟;;Mannich反应制取的SPN衍生物的摩擦学研究[J];华东交通大学学报;2011年03期
7 曾小军;曾明;黄芳;蒋银燕;彭学东;;正十二烷硫基硼酸钡摩擦学性能研究[J];精细化工中间体;2011年03期
8 黄仲佳;熊党生;李建亮;刘明朗;;金属表面织构化微孔填充干膜润滑剂的摩擦学性能[J];材料保护;2011年06期
9 王应军;谢凤;刘广龙;郝敬团;;纳米润滑添加剂表面修饰方法综述[J];合成润滑材料;2011年01期
10 杨拉毛草;周晖;郑军;桑瑞鹏;万志华;;偏压对掺钨含氢类金刚石碳膜摩擦学性能的影响[J];润滑与密封;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;纳米类金刚石薄膜的制备及性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
2 王红美;于鹤龙;柳清亮;张伟;;磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
3 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;化学气相沉积类金刚石薄膜摩擦学性能的研究[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
4 万善宏;张广安;王立平;薛群基;;铝合金表面沉积类金刚石复合薄膜的摩擦学性能[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5 姜金龙;郝俊英;刘维民;;Ti/Si共掺杂含氢类金刚石薄膜的摩擦学性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
6 王成兵;李红轩;徐洮;;湿度对类金刚石薄膜摩擦学性能的影响[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
7 胡芳;代明江;林松盛;;微喷砂预处理对硬质合金上沉积类金刚石薄膜结合力的影响[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
8 梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
9 熊礼威;;星形MPCVD装置上制备类金刚石薄膜的研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
10 阎兴斌;徐洮;王博;王晓波;杨生荣;;聚合物热解制备纳米类金刚石薄膜及其结构表征[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 本报记者 张强 特约记者 李荣惠 通讯员 袁耿林 刘长江;油料尖兵 国之所需[N];科技日报;2011年
2 李力;聚多巴胺基复合薄膜研究获得新进展[N];中国包装报;2010年
3 吴宏富;密友集团纳米科技领域大显身手[N];经理日报;2009年
4 ;铜—石墨复合材料润滑机理研究取得进展[N];中国技术市场报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田剑书;含氟聚酰亚胺的合成及摩擦学性能研究[D];复旦大学;2010年
2 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
3 徐蕾;极端工况下矿井提升机衬垫摩擦学性能及改性研究[D];中国矿业大学;2010年
4 欧雪梅;表面修饰矿物填料改性尼龙1010的摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2009年
5 高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
6 刘贵昂;类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响[D];西南交通大学;2002年
7 李玉峰;硫酸盐自润滑陶瓷基复合材料的制备与摩擦学性能[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 杜广煜;WS_2薄膜制备工艺及其摩擦学性能的实验研究[D];东北大学;2009年
9 徐磊华;硅烷类自组装复合层的制备及摩擦学性能研究[D];中国矿业大学;2011年
10 谢东;超高分子量聚乙烯的表面改性及其耐磨性能研究[D];西南交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 强力;低浓度钛掺杂类金刚石薄膜的制备、结构及性能研究[D];兰州理工大学;2012年
2 王行;动态负载含油轴承摩擦学性能研究[D];浙江大学;2005年
3 黄海栋;片状纳米石墨和无机类富勒烯二硫化钼作为润滑油添加剂的摩擦学性能[D];浙江大学;2006年
4 贾云刚;纳米润滑材料及表面改性的研究[D];大庆石油学院;2006年
5 张俐丽;WS_2纳米棒的制备及作为润滑油添加剂的摩擦学性能[D];浙江大学;2006年
6 沟引宁;类金刚石多层膜的制备及其力学性能研究[D];西南交通大学;2006年
7 聂林;含油轴承摩擦学性能的分形研究[D];浙江大学;2006年
8 麻洪霞;聚合物纳米复合膜的制备及其摩擦学行为研究[D];河南大学;2008年
9 刘建芳;绿色水基润滑添加剂的研究[D];机械科学研究院;2005年
10 李小红;低噪音聚脲润滑脂的研制及摩擦学性能研究[D];中南大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026