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《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2009年
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介质层漏电流测试方法

罗世永  许文才  陈萌  张新林  
【摘要】:正本文介绍一种模拟薄膜或厚膜工艺制作介质层样品,测试介质层漏电流的方法。对于薄膜介质层,先在基片表面制作导电层电极,如ITO(锡铟氧化物)导电膜玻璃,然后用薄膜工艺沉积介质层。对于厚膜介质层,用ITO导电膜玻璃作为基片,然后将厚膜介质浆料用丝网印刷和烧

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