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直流磁控溅射制备氧化钒薄膜

杨旭  蔡长龙  周顺  刘欢  
【摘要】:正氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究热点之一。因氧化钒薄膜具有高的电阻温度系数(TCR)值,其阻值随入射辐射引起的温升有非常灵敏的改变,微测辐射热计正是利用了这一特性,因此氧化钒薄膜在红外探测和红外成像方面具

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