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《TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2009年
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多层纳米铁电薄膜介电增强机理

朱建国  肖定全  刘洪  朱基亮  
【摘要】:正铁电薄膜由于具有铁电、压电、热释电、电光及非线性光学等优异的特性,可广泛应用于微电子学、光电子学、集成光学以及微机械学等技术领域,已研制的器件有铁电存储器、非致冷热释电探测器、光波导、光调制器和微驱动器等。铁电薄膜的性能与其厚度、应力、界面态等有着密切的关系。2004年,美国学者K.J.Choi

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