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《中国真空学会2008学术年会论文集》2008年
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PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究

杨莉  张受业  陈强  
【摘要】:为了降低PET瓶的透氧率,采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C_2H_2为碳源,Ar为稀释气体,在PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon,简称DLC)薄膜作为阻隔层。采用傅里叶红外透射光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和透氧测试(OTR)等手段对其进行结构、成分、形貌和阻隔性进行分析测试。结果表明,碳氢膜主要由sp~3杂化的碳氢化合物组成,薄膜阻氧性与sp~3杂化的碳氢化合物含量、膜厚和薄膜表面形貌有关。特别是采用增强(capacitively coupled plasma,CCP和inductively coupled plasma,ICP)放电等离子体源制备的类金刚石膜表面致密,均匀无裂纹,阻隔性明显提高。
【作者单位】:北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室
【分类号】:TB383.2

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