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《中国真空学会2008年学术年会论文摘要集》2008年
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TiB_2/TiN纳米多层膜界面的第一性原理研究

李强  邓湘云  李德军  
【摘要】:正进入20世纪90年代,人们通过多层涂层设计,使薄膜的综合性能进一步提高。而纳米多层薄膜的出现使薄膜的研究进入了新的领域,引起了研究人员的广泛关注。然而, 在纳米多层膜的研究中,界面特征始终是难点,也正是界面结构和性能决定着纳米多层

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