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《中国真空学会2008年学术年会论文摘要集》2008年
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ZJK-β型真空计性能研究

陈联  张晓曦  王荣宗  陈光奇  
【摘要】:本文介绍了 ZJK-β型真空计性能试验研究工作,其性能试验是在一个专用比对装置上进行的,该装置安装了一组高精度薄膜电容规,测量范围为1×10~(-3)Pa~11×10~5Pa,完全涵盖了 ZJK-β型真空计的测量范围。在此装置上开展的试验工作主要有:压力测量范围试验、测量稳定性试验、同一台真空计的测量重复性试验和不同计的测量一致性试验。试验结果表明,ZJK-β型真空计的测量范围可以达到0.1Pa~7000Pa,测量稳定度在5%以内。同一台真空计的测量重复性和不同计的测量一致性好,在其工作范围内不同真空计间能够互换使用,解决了原有真空计和真空规必须匹配校准后才能匹配使用的问题,在保证测量精度的同时,提高了使用效率和应用范围,能够满足靶场检测的特殊要求。

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