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新型大抽速分子泵的研制(摘要)

葛明  袁永列  罗进军  
【摘要】:正现代科技及工业的发展需要大抽速的涡轮分子泵。在此背景下,设计、研制成功国内最大抽速的 F400/4000型分子泵。

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