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含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究

张广安  王鹏  陈友明  王霞  闫鹏勋  张俊彦  
【摘要】:正类金刚石碳(DLC)薄膜具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、光透过性和生物相容性,作为新型功能薄膜材料在机械耐磨涂层、光学窗口、微电子机械系统(MEMS)以及半导体材料等方面具有广阔的应用前景。然而,多年的研究发现,高质量的类金刚石碳膜的制备一直受

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