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《TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2007年
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多弧离子镀TiAlN膜层的组织及相结构

王少鹏  潘晓龙  李争显  乔生儒  刘道新  
【摘要】:在钛及钛合金表面多弧离子镀 TiAlN 膜层多以 TiAl 合金作为靶材,而分别用钛靶和铝靶双靶材沉积 TiAlN 膜层的研究较少。利用双靶材可分别 Ti 靶和 Al 靶的工艺参数,达到控制膜层成分的目的。另外,在镀膜过程中可调整靶材的工艺参数形成梯度膜层。

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