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《TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2007年
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类金刚石薄膜的显微硬度测量

马占吉  朱昌  任妮  朱春燕  
【摘要】:正类金刚石(DLC)膜由于具有高硬度,低摩擦系数,耐磨性能好,热传导率高等一系列优越的综合性能,近年来引起了科学界极大兴趣。特别是在钢上镀 DLC 膜,具有更大的实用价值。薄膜的硬度是材料的主要物理特性。硬度一般指在受外界物体挤压时,固体表面产生的形变。不同的测量方法导致了不同的硬度,

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