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《第八届全国真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集》2007年
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太阳电池TiO_2减反射薄膜的制备与特性研究

王贺权  巴德纯  沈辉  闻立时  
【摘要】:由于TiO2薄膜具有不同的晶体结构,在红外和可见光范围内能够展现出不同的折射率和透过率,并且它还具有高的介电常数、宽的禁带、高的耐磨性和稳定性,因此倍受物理学领域的广泛关注。被广泛应用于很多领域。本文的目的是研究太阳电池TiO2减反射薄膜的特性。应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅太阳电池上制备TiO2薄膜,薄膜的反射率通过UV—3101PC测定;薄膜的折射率和消光系数通过nk Analyzer 1200分析仪测定;镀膜电池和不镀膜电池的Ⅰ-Ⅴ特性曲线通过Ⅰ-Ⅴ测试仪测定并比较。

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