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ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与性能的研究

曹猛  张学华  杨瑾  刘桐  邓湘云  李德军  
【摘要】:利用高真空离子束辅助沉积系统在室温下制备了 ZrN,TiAlN 和一系列 ZrN/TiAlN 纳米多层膜,利用 X 射线衍射仪、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明:大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为6.5nm 时, 多层膜硬度达到最高(30.1 GPa),弹性模量、粗糙度、摩擦以及划痕测试均达到最佳效果。

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