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《中国真空学会2006年学术会议论文摘要集》2006年
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离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展

王三胜  
【摘要】:离子束辅助沉积(IBAD)技术因为材料生长过程中辅助离子束的引入,可以显著的改变材料的微观结构和取向等,被广泛的试用于各种功能材料的制备。其中包括近年来广泛应用于YBCO涂层导体的制备。
【作者单位】:清华大学物理系
【分类号】:TB383.2

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