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《中国真空学会2006年学术会议论文摘要集》2006年
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非平衡磁控溅射法掺Au氮化钛薄膜的制备及光学特性分析

杨武保  马双会  赵震  张守忠  杜建  
【摘要】:利用非平衡磁控溅射技术制备了掺Au氮化钛薄膜。实验观察及紫外-可见反射光谱分析发现, 所得薄膜明显偏暗;且在本文工艺范围内,随着Au掺杂量的增加,薄膜色彩变暗;随着工作气体 N2流量的降低,薄膜亮度增大。SEM分析表明,所得薄膜由纳米晶粒组成。定性分析了薄膜组织特征及色彩变化机制,认为薄膜中Ti与N的存在方式具有形成TiN化合物和吸附了N的Ti粒子两种形式,消色效应、薄膜组成和结构不同等导致所得薄膜色彩和亮度的变化,通过在氮化钛薄膜中掺杂Au的方法无法得到理想的黄金色彩。

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