收藏本站
《中国真空学会2006年学术会议论文摘要集》2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光学薄膜厚度的实时监控算法研究

黎永志  黄光周  帅福利  于继荣  
【摘要】:正薄膜厚度监控的准确度直接影响光学薄膜的反射率、透射率、光谱特性和偏振特性,因此,光学薄膜的准确控制是制备光学薄膜的关键技术之一。目前,国产的设备大多数采用光电极值法,该方法的反射率在接近极值点时斜率变化缓慢,用这种传统斜率法判断极值点,其测量精度受到限制。
【作者单位】:华南理工大学 华南理工大学 华南理工大学 华南理工大学
【分类号】:TB43

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈星;童晟飞;王正忆;叶兵;;椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析[J];实验技术与管理;2011年06期
2 李雪勇;严钦云;崔丽玲;;薄膜厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响[J];广州化工;2011年16期
3 王孝东;张锦龙;马彬;焦宏飞;丁涛;程鑫彬;;高损伤阈值三倍频分离膜[J];强激光与粒子束;2011年07期
4 许晓静;郝欣妮;陆树显;卓刘成;夏登福;;纳米晶体Ti表面磁控溅射SiC薄膜的干摩擦学性能[J];稀有金属材料与工程;2011年06期
5 郝殿中;韩培高;宋连科;;衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2011年03期
6 唐艳芳;王小云;;高聚物薄膜在旋节去湿中的动力学稳定性[J];吉首大学学报(自然科学版);2011年02期
7 谢平;李斌;刘定权;张素英;;电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究[J];光学仪器;2010年06期
8 王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
9 张锋;郝殿中;;基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜紫外性能的影响[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
10 张俊双;叶勤;曾富强;王权康;;薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响[J];材料导报;2011年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
2 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
4 张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
5 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
6 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
8 王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
9 张波;渠丽新;李晓峰;;空间环境中紫外辐照对光学薄膜的损伤[A];中国宇航学会深空探测技术专业委员会第一届学术会议论文集[C];2005年
10 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
6 田雪松;用于抗激光致盲的氧化钒薄膜制备及光学相变特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
7 史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
8 黄正兴;薄膜热导率的测试与分子动力学模拟研究[D];大连理工大学;2007年
9 王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 贾莉;低成本制备氧化锆薄膜燃料电池的研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
2 黄磊;偏压电子束蒸发沉积氧化物光学薄膜研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 钟俊;光学薄膜厚度实时监测系统的研究与实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
4 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
5 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
6 毛靖;新型有机—无机杂化光学薄膜的光敏特性研究[D];浙江大学;2010年
7 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
8 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
9 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
10 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026