静电悬浮加速度计真空装置的研制

【摘要】：静电悬浮加速度计是重力测量卫星的关键载荷之一,静电悬浮加速度计长期保持优良的高真空是控制其噪声水平的必要措施。与地面应用不同,静电悬浮加速度计的真空室是上天产品的组成部分。本文采用吸气剂泵与微型溅射离子泵组合维持真空室的工作真空度,实际达到10-7pa量级, 其中吸气剂泵由三个非蒸散烧结型多孔吸气剂、铂铑-铂热电偶、4根真空电引线及壳体组成,高温活化并回到室温后,对CO的初始吸气率为15 l／s;微型溅射离子泵具有0．4 l/s的氮抽速,用于抽除惰性气体和碳氢化合物。为了防止吸气剂的碎渣掉进敏感结构内,造成电极短路,以及阻挡吸气剂活化时对敏感结构的高温辐射,在吸气剂和敏感结构间设置滤片-挡板组件。底座材料为殷钢,安装面的平面度和平行度1μm。底座上有28根真空电引线,具有上千伏的高压绝缘性能。主抽气机组采用溅射离子泵与分子拖动泵的组合,前级泵采用机械隔膜泵,真空度达到优于5×10-7pa。