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《全国薄膜技术学术研讨会论文集》2006年
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基片温度对反应射频磁控溅射法制备掺杂CeO_2电解质薄膜的影响

郝斌魁  姜雪宁  张庆瑜  陈充林  
【摘要】:利用Gd/Ce镶嵌复合靶、采用反应射频磁控溅射技术制备了Gd2O3掺杂CeO2(GDC)氧离子导体电解质薄膜,重点探讨了基片温度对薄膜物相结构、沉积速率及生长形貌的影响。分析结果表明,不同温度下制备的薄膜中,立方面心结构 GDC固溶体相占主导,同时存在少量体心立方结构Gd2O3中间相;GDC薄膜的生长取向随基片温度而变化,200℃时,无择优取向,500℃时薄膜呈现(220)织构,700 ℃则为(111)择优取向;薄膜沉积速率随基片温度呈阶段性规律变化,(220)方向择优生长越显著,沉积速率越高,薄膜粗糙度越大;AFM分析表明,薄膜为岛状生长,随温度升高,表面生长岛尺寸增大,岛密度变小。

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