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《全国薄膜技术学术研讨会论文集》 2006年
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微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数

董树荣  王德苗  金浩  
【摘要】:提出了一种测量介质薄膜微波段介电常数的方法。该方法基于金属空腔谐振器微扰理论,用已知介电常数的基片作为标样,标定测量系统的有关参数,然后分别测量空腔、基片插入空腔、镀有介质薄膜的基片插入空腔三种情况下的谐振腔谐振频率,计算出镀覆于基片上介质薄膜的微波复介电常数。本文SiO2和MgTiO3-CaTiO3(MCT)介质陶瓷薄膜作了实验测量验证,结果表明该方法具有良好的测量精度(小于6%)。

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