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《TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2005年
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介质阻挡放电化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜研究

张溪文  韩高荣  
【摘要】:正 TiO_2在紫外光照射下具有的光催化和超亲水性现象,使其具备了防污、杀菌、防雾和“自清洁”等众多的潜在应用,因而倍受关注。传统溶胶凝胶法制备TiO_2薄膜难以实现工业化应用。虽然最近已经实现TiO_2镀膜玻璃的常压化学气相沉积,但此类传统的热分解化学气相反应成膜法需以高温加热基板提供所需要的激发能量,具有较大的局限性。本文首次采用介质阻挡放电化学气相沉积法常温快速制备TiO_2薄膜。反应气体为高纯

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