氮分压对电弧离子镀CrNx薄膜结构与性能的影响

【摘要】：正采用电弧离子镀技术,在不同N_2分压下沉积了一系列Cr/CrNx薄膜。并使用X射线衍射技术(XRD)、努普硬度计和UMT型球-盘摩擦试验机分别测试了薄膜相结构、显微硬度和摩擦磨损性能。研究了N_2分压对薄膜相组成、硬度、摩擦磨损性的影响。结果表明:随着氮气分压的升高,薄膜的相结构由富Cr_2N相过度到富CrN相;薄膜硬度出现两个极值,对应于

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中国期刊全文数据库

前20条

1	郑陈超;陈康敏;张晓柠;黄燕;关庆丰;宫磊;孙超;;弧电流对电弧离子镀CrN硬质涂层组织性能的影响[J];航空材料学报;2011年04期
2	张健;郭策安;张罡;郝士明;;PCrNi3MoVA钢表面电弧离子镀Ti_(0.7)Al_(0.3)N涂层的性能研究[J];兵工学报;2011年06期
3	宋贵宏;金弢;熊焰;娄茁;杜昊;;Cu丝上沉积Ti/TiN多层膜的研究[J];真空;2011年04期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
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16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	钟彬;车德良;苟伟;李国卿;陈玲玲;;氮分压对电弧离子镀CrNx薄膜结构与性能的影响[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
2	马占吉;任妮;Dmitri A.Karpov;;大型电弧离子镀膜设备[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3	张建华;张勤俭;张勤河;秦勇;毕进子;朱学诚;;沉积偏压对电弧离子镀TiN涂层质量的影响[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
4	赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮;;碳纤维复合材料表面电弧离子镀铝膜附着力研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
5	高玉周;周文龙;徐久军;严立;;电弧离子镀复合薄膜(Ti_xNb_(1-x))N的结构、组织及其滑动磨损性能[A];21世纪全国耐磨材料大会——第九届全国耐磨材料磨损失效分析与抗磨技术学术会议论文专辑[C];2000年
6	杜军;张平;蔡志海;赵军军;;永磁体表面电弧离子镀制备ZrN薄膜的结构与性能[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
7	宋贵宏;邹友生;陈立佳;李锋;王启民;宫骏;孙超;;电弧离子镀沉积富碳的TiC薄膜研究[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
8	闻立时;黄荣芳;;脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
9	赵彦辉;林国强;董闯;闻立时;;脉冲工艺在薄膜制备中的应用[A];薄膜技术学术研讨会论文集[C];2003年
10	赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮;;碳纤维复合材料表面电弧离子镀铝膜附着力研究[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	黄美东;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究[D];大连理工大学;2002年
2	赵彦辉;脉冲偏压电弧离子镀沉积超硬多层薄膜[D];大连理工大学;2006年
3	戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年
4	吕树国;脉冲N离子束辅助电弧离子镀沉积TiAlN膜层的研究[D];东北大学　;2009年
5	陈军;复合氮化物硬质涂层的HIPIB辐照研究[D];大连理工大学;2009年
6	高玉周;耐磨梯度表面层的制备及其滑动摩擦学特性的研究[D];大连海事大学;2000年
7	谢国胜;汽轮机末级叶片抗水蚀氮化碳/氮化钛复合涂层制备及其相关基础研究[D];中南大学;2008年
8	闫伟;Ti-60合金表面电弧离子镀Ti-Al-Cr高温防护涂层研究[D];东北大学　;2010年
9	李红凯;碳基纳米复合薄膜及应用研究[D];大连理工大学;2010年
10	吴博;质子交换膜燃料电池不锈钢双极板电弧离子镀膜改性研究[D];大连理工大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	周珊珊;镁合金压铸模用H13钢表面电弧离子镀膜的研究[D];太原理工大学;2010年
2	孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
3	肖惠军;钛义齿支架电弧离子镀技术的实验研究[D];第四军医大学;2005年
4	袁永;电弧离子镀纳米二氧化钛薄膜的制备及相关特性研究[D];暨南大学;2005年
5	袁方园;利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数[D];大连理工大学;2009年
6	隋振中;AIP脉冲偏压电源及等离子体诊断系统的设计与应用研究[D];大连理工大学;2003年
7	唐为国;TiN/（Ti，Al）N复合多层膜的制备及研究[D];兰州大学;2006年
8	姜迎新;厚Ti/TiN多层涂层力学性能与摩擦学性能研究[D];兰州大学;2006年
9	杨苹丽;电弧离子镀NiCoCrAlY（SiB）涂层的组织结构及性能研究[D];吉林大学;2006年
10	徐向荣;电弧离子镀Ti-Cr-Ce-N系涂层的制备及性能研究[D];广东工业大学;2005年

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