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《2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集》2005年
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工艺参数对中频非平衡磁控溅射制备TiN膜性能的影响

吴宇峰  马胜歌  张德元  张以忱  耿漫    
【摘要】:采用中频非平衡磁控溅射工艺,在316L不锈钢基体上制备氮化钛膜层。通过改变工作气氛、偏压模式以及溅射功率制备了一系列试样。分别利用分光光度计、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和纳米力学综合测试仪等分析仪器对制备的试样进行分析测试。结果发现:工作气氛、偏压和溅射功率对TiN膜层的成分和外观颜色影响较大,获得理想金黄色外观所对应的气氛范围较窄;选用适当的直流偏压和比较高的溅射功率能有效增加到达工件的离子数量,有助于获得性能更好的镀层。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 凌华;对标准色度学系统颜色空间的理解[J];包装工程;2003年02期
2 张泰华,杨业敏;纳米硬度技术的发展和应用[J];力学进展;2002年03期
3 姜燮昌;大面积反应溅射技术的最新进展及应用[J];真空;2002年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘美华,王静,王东爱;对压痕硬度试验方法的分析研究[J];工程塑料应用;2005年07期
2 刘学杰;马琴芳;任元;;采用有限元仿真研究TiN和Ti-Si-N的力学性能特点[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年06期
3 张泰华;纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
4 张海霞,张泰华,郇勇;纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性[J];微纳电子技术;2003年Z1期
5 余雁;费本华;张波;王戈;;针叶材管胞细胞壁不同壁层的纵向弹性模量和硬度[J];北京林业大学学报;2006年05期
6 董世运,徐滨士,Beake B D,朱胜,胡振峰,王红美;纳米硬度计测定电刷镀纳米颗粒复合镀层的弹性模量[J];中国表面工程;2003年04期
7 张泰华,刘东旭,郇勇,王秀兰;基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响[J];中国表面工程;2003年04期
8 于大洋;马胜歌;张以忱;徐路;;非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究[J];中国表面工程;2006年06期
9 艾利娟;祝江平;吴晓玲;郑瑞廷;程国安;;Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响[J];北京师范大学学报(自然科学版);2011年02期
10 郑元林,杨淑蕙,周世生,曹从军;CIE 1976 LAB色差公式的均匀性研究[J];包装工程;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘志远;田慧;杨庆生;;低合金马氏体钢纳米硬度试验[A];北京力学会第十六届学术年会论文集[C];2010年
2 刘志远;田慧;杨庆生;;基于纳米压入技术的磁脉冲焊接法焊缝过渡区硬度测试[A];北京力学会第十六届学术年会论文集[C];2010年
3 刘志远;高雪玉;杨庆生;;纳米压痕法测定人血红细胞的力学特性[A];北京力学会第十六届学术年会论文集[C];2010年
4 刘志远;高雪玉;杨庆生;;基于纳米压入技术的低介电材料薄膜性能研究[A];北京力学会第十六届学术年会论文集[C];2010年
5 孙维连;杨钰瑛;李新领;;采用中频反应磁控溅射技术沉积氮化锆薄膜[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
6 张西涛;彭友才;徐道勇;;浅谈影响镀膜玻璃质量的几个因素[A];全国第五届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会论文集[C];2003年
7 刘志远;杨庆生;高雪玉;;基于纳米压入技术的碳纤维增强环氧树脂复合材料界面性能研究[A];复合材料:创新与可持续发展(下册)[C];2010年
8 丁建宁;解国新;;相变存储薄膜的纳米压痕及摩擦性能研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9 许向阳;刘真;蔡圣燕;;基于CIECAM02的实时色彩转换模式[A];第十一届全国包装工程学术会议论文集(一)[C];2007年
10 姜燮昌;;大面积磁控溅射技术的最新进展与应用[A];2004’全国真空冶金与表面工程学术研讨会会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孙晋美;贝壳珍珠母微纳结构的稳定性与力学性能关联的研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 刘琦;基于压痕功的微纳米表层硬度检测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 余雁;人工林杉木管胞的纵向力学性质及其主要影响因子研究[D];中国林业科学研究院;2003年
4 陈长安;铝和不锈钢中氦行为研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
5 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
6 郭颖杰;哺乳动物角蛋白材料力学及摩擦学行为研究[D];吉林大学;2005年
7 林江;微孔无机单晶体力学性能的研究[D];太原理工大学;2006年
8 李维火;块体非晶合金及其复合材料微观力学性能研究[D];上海大学;2005年
9 郑克仁;矿物掺合料对混凝土疲劳性能的影响及机理[D];东南大学;2005年
10 王静;数字散斑相关方法及微/纳米尺度热力学测试研究[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孟耀武;软脆晶体碲锌镉超精密磨抛的试验研究[D];大连理工大学;2010年
2 孟威;薄膜集成磁件结构拓扑优化与制备工艺研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
3 彭建;块体非晶合金纳米压痕行为的表征及分析[D];湘潭大学;2010年
4 方雪冰;CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究[D];电子科技大学;2010年
5 张学颖;无色翡翠透明度分级标准基础理论研究[D];昆明理工大学;2010年
6 马琴芳;采用有限元方法研究Ti-Si-N超硬纳米复合表面的力学性能[D];内蒙古科技大学;2010年
7 刘亚龙;材料微纳米尺度压痕硬度检测的仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 王学林;微小焊点SEM/TEM原位拉伸实验及界面金属间化合物取向分析[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 李刚;Ag/SiO_2复合纳米薄膜的光学性质[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 曹珊珊;基于图像处理的药片计数算法研究[D];华中科技大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 姜燮昌;真空镀膜技术的最新进展[J];真空;1999年05期
2 茅昕辉,陈国平,蔡炳初;反应磁控溅射的进展[J];真空;2001年04期
3 许生,侯晓波,范垂祯,赵来,周海军,吴克坚,高文波,颜远全,查良镇;硅靶中频反应磁控溅射二氧化硅薄膜的特性研究[J];真空;2001年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周爱萍;张化福;刘汉法;;溅射功率对铝铬共掺杂氧化锌透明导电薄膜特性的影响(英文)[J];人工晶体学报;2011年03期
2 余志强;谢泉;肖清泉;;Mg_2Si薄膜的磁控溅射制备及表征[J];材料导报;2011年12期
3 赵保星;周继承;荣林艳;彭银桥;;二氧化钛太阳能电池减反射膜结构和光学特性[J];中南大学学报(自然科学版);2011年07期
4 董科研;周明;王静静;吴小麟;高传玉;;ITO薄膜的制备以及性能的研究[J];功能材料;2011年S2期
5 陈晖;周细应;孙卿;;磁控溅射SiC薄膜表面形貌演化行为研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年04期
6 赵佳明;边继明;孙景昌;张东;梁红伟;骆英民;;柔性聚酰亚胺(PI)衬底上ITO薄膜的生长及其透明导电性能影响机制研究[J];功能材料;2011年S4期
7 弥谦;潘婷;袁渊明;;磁约束磁控溅射源工作特性及沉积速率的分析[J];西安工业大学学报;2011年03期
8 徐绍亮;庞晓露;杨会生;张波萍;;射频反应磁控溅射法制备ZnO:Al透明导电薄膜的光电性能[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
9 李洪涛;蒋百灵;杨波;曹政;;一种新颖的磁控溅射纯Cr薄膜结构区域模型[J];人工晶体学报;2011年04期
10 唐瑞鹤;吴章奔;姜鹤;杨志刚;张弛;水口将辉;梨弘毅;杨白;于荣海;;Co含量对Co-C纳米复合薄膜磁性能和磁电阻的影响[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴宇峰;马胜歌;张德元;张以忱;耿漫;周;;工艺参数对中频非平衡磁控溅射制备TiN膜性能的影响[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
2 张以忱;吴宇峰;巴德纯;马胜歌;;中频离子辅助溅射Ti/TiN/Ti(C,N)膜层的结构性能[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 林国强;赵彦辉;张敏;董闯;闻立时;;脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础与技术开发[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
4 张琦;尹龙;齐峰;冷永祥;黄楠;;非平衡磁控溅射制备氮化硅薄膜及其性能研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
5 李红凯;林国强;董闯;;脉冲偏压电弧离子镀DLC-MeN复合薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
6 万先松;赵升升;杨英;宫骏;孙超;;电弧离子镀Cr-N薄膜工艺参数与性能研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
7 徐均琪;杭凌侠;惠迎雪;;非平衡磁控溅射无氢DLC增透膜的研制[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
8 杨武保;马双会;赵震;张守忠;杜建;;非平衡磁控溅射法掺Au氮化钛薄膜的制备及光学特性分析[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
9 卢国英;林国强;赵彦辉;董闯;闻立时;;脉冲偏压电弧离子镀CrA1N薄膜性能研究[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
10 林松盛;代明江;侯惠君;李洪武;朱霞高;林凯生;牛仕超;;钛合金表面掺金属类金刚石膜的摩擦磨损性能研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
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1 丁万昱;微波ECR磁控溅射制备超薄a-SiN_x薄膜及其特性研究[D];大连理工大学;2007年
2 牟宗信;非平衡磁控溅射沉积系统放电特性和沉积TiN_x薄膜应用研究[D];大连理工大学;2006年
3 吴志立;闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜结构与性能研究[D];大连理工大学;2010年
4 王君;射频磁控溅射法沉积氮化铜纳米薄膜及PLZT薄膜[D];兰州大学;2006年
5 吕茂水;溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜与薄膜特性研究[D];山东大学;2007年
6 高鹏;等离子体增强沉积C-N-Si超薄保护膜[D];大连理工大学;2007年
7 胡晨;锂微电池负极材料Li_4Ti_5O_(12)薄膜的制备及电化学性能研究[D];武汉理工大学;2007年
8 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
9 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
10 修显武;掺钼氧化锌透明导电薄膜的制备与特性研究[D];山东大学;2006年
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1 张琦;Ti-N及Si-N薄膜的制备及其性能研究[D];西南交通大学;2007年
2 杨林生;非平衡磁控溅射方法替代电沉积技术的应用工艺研究与设计[D];合肥工业大学;2010年
3 赵薇;氮化钛粉末制备的动力学和热力学研究[D];西安建筑科技大学;2004年
4 曹君敏;富硅碳化硅薄膜的制备与表征[D];大连理工大学;2012年
5 白晓;脉冲偏压电弧离子镀基体沉积温度的计算与纳米多层硬质薄膜的初步研究[D];大连理工大学;2004年
6 唐为国;TiN/(Ti,Al)N复合多层膜的制备及研究[D];兰州大学;2006年
7 刘磊;PBAIP等离子体鞘层物理特性的应用研究[D];大连理工大学;2006年
8 牟晓东;高功率脉冲非平衡磁控溅射法制备CrN_x膜和Cu膜及其沉积特性的研究[D];大连理工大学;2011年
9 田仁来;钛氧薄膜表面特征对内皮细胞生长影响的研究[D];西南交通大学;2005年
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