收藏本站
《2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

非平衡磁控溅射无氢DLC增透膜的研制

徐均琪  杭凌侠  惠迎雪  
【摘要】:非平衡磁控溅射(UBMS)技术近年来得到了广泛地应用。采用该技术制备的类金刚石薄膜(DLC)具有许多独特的性质.本文利用正交实验方法,对非平衡磁控溅射技术制备无氢DLC膜增透膜进行了研究,得到了影响薄膜光学性能的主要因素和最佳的制备工艺。结果表明,非平衡磁控溅射制备的无氢DLC膜具有较宽的光谱透明区,锗基底单面沉积DLC膜,其峰值透射率达到61.4%,接近理论值.

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 董骐,范毓殿;非平衡磁控溅射及其应用[J];真空科学与技术;1996年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘辉;黄宇;柳兆龙;;淤煤装载机提装部的绿色设计与制造技术[J];煤矿机械;2013年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 刘瑞鹏;李刘合;;磁控溅射靶优化设计及其磁场分析[A];2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2006年
2 周祎;马胜歌;张德元;张以忱;耿漫;吴宇峰;;中频非平衡磁控溅射制备TiN膜[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 程广贵;复合纳米薄膜制备及其摩擦学行为研究[D];江苏大学;2010年
2 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
3 韩鹏;飞秒激光抽运—探测热反射系统建立及金属薄膜热输运过程研究[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2008年
4 张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 方雪冰;CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究[D];电子科技大学;2010年
2 陈倪娇;圆形靶磁控溅射均匀性控制及其对沉积薄膜质量影响[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 骆飞;1Cr10Co3MoWVNbNB耐热钢表面(Cr_(1-X)Ti_X)N涂层的制备与表征[D];哈尔滨工程大学;2011年
4 王维;圆平面磁控溅射靶的磁场优化及刻蚀模拟[D];东北大学;2009年
5 熊学辉;超硬纳米薄膜的显微结构特征及其对性能的影响[D];武汉理工大学;2003年
6 李清源;离子溅射用高频PWM电源及其控制系统设计[D];清华大学;2003年
7 郭庆吉;闭合场非平衡磁控溅射离子镀装备实时监控系统软件设计[D];西安理工大学;2005年
8 郑湘渝;软开关ZVS DC/DC全桥变换器的设计[D];西安理工大学;2005年
9 唐长斌;钛合金表面离子束辅助沉积耐磨、抗蚀性膜层研究[D];西北工业大学;2005年
10 李新领;装饰薄膜氮化锆的中频反应磁控溅射沉积工艺的研究[D];河北农业大学;2005年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 柳翠,李国卿,张成武,李新;非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能[J];材料研究学报;2004年02期
2 林树汉,刘国洪;类金刚石碳膜(DLC膜)的结构、性质及其应用[J];材料研究学报;1987年04期
3 夏立芳,孙明仁;等离子体基脉冲偏压沉积DLC膜的氢分布和氢含量[J];无机材料学报;2002年04期
4 蔡千华;Me-DLC膜的开发[J];国外金属热处理;2003年06期
5 王维洁,韩培刚,王天民,黄良甫,刘定权;DLC膜高能C~+束辐照效应的初步研究[J];核技术;1992年03期
6 弥谦,蔡长龙;脉冲源所镀DLC膜成份的分析[J];应用光学;2003年05期
7 张通和 ,吴瑜光;离子束多层膜制备技术和应用(下)[J];机械工人.热加工;2005年07期
8 王维洁,王天民,韩培刚,罗崇泰,黄良甫,刘定权;双束溅射淀积DLC膜的结构表征和性能分析[J];材料研究学报;1992年04期
9 褚沉,王辉,徐新民,应萱同,沈元华;金刚石红外增透保护膜的研制及特性拟合[J];光学仪器;1996年05期
10 孙明仁,夏立芳,孙跃,马欣新,孙立海;脉冲偏压对等离子体沉积DLC膜化学结构的影响[J];材料科学与工艺;2002年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐均琪;杭凌侠;惠迎雪;;非平衡磁控溅射无氢DLC增透膜的研制[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
2 张琦;尹龙;齐峰;冷永祥;黄楠;;非平衡磁控溅射制备氮化硅薄膜及其性能研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 王多书;罗崇泰;陈焘;熊玉卿;刘宏开;王济洲;;耐磨增透SiO_2复合薄膜的离子束辅助沉积技术研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
4 杨武保;马双会;赵震;张守忠;杜建;;非平衡磁控溅射法掺Au氮化钛薄膜的制备及光学特性分析[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
5 马国佳;孙刚;张华芳;武洪臣;;类金刚石膜Ti、Zr掺杂对DLC力学性能的影响[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
6 林松盛;代明江;侯惠君;李洪武;朱霞高;林凯生;牛仕超;;钛合金表面掺金属类金刚石膜的摩擦磨损性能研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
7 李新昌;陈俊英;黄楠;;两种不同结构TiO_2薄膜生物活化能力比较[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(5)[C];2007年
8 代伟;孙丽丽;吴国松;汪爱英;;线性离子束制备高性能、大面积类金刚石薄膜的研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
9 马胜歌;于大洋;杨宏伟;张以忱;;离子辅助中频孪生靶非平衡磁控溅射制备Cr+Ti+TiC/TiC+C/C[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10 郑军;周晖;温庆平;万志华;桑瑞鹏;;偏压对非平衡磁控溅射沉积MoS_2掺Ti薄膜的性能影响研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 丁万昱;微波ECR磁控溅射制备超薄a-SiN_x薄膜及其特性研究[D];大连理工大学;2007年
2 张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
3 吴志立;闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜结构与性能研究[D];大连理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨林生;非平衡磁控溅射方法替代电沉积技术的应用工艺研究与设计[D];合肥工业大学;2010年
2 牟晓东;高功率脉冲非平衡磁控溅射法制备CrN_x膜和Cu膜及其沉积特性的研究[D];大连理工大学;2011年
3 冯丽萍;蓝宝石衬底上SiO_2薄膜的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2004年
4 田仁来;钛氧薄膜表面特征对内皮细胞生长影响的研究[D];西南交通大学;2005年
5 周祎;离子辅助中频非平衡磁控溅射制备类金刚石薄膜[D];东北大学;2006年
6 谢松林;激光薄膜损伤特性研究[D];西安工业大学;2007年
7 刘艳文;氧化钛薄膜微图形制备及生物相容性研究[D];西南交通大学;2006年
8 杨忠海;氢等离子体改性Ti-O薄膜的血液相容性研究[D];西南交通大学;2009年
9 胡常炳;紫外光固化有机—无机复合增透膜制备研究[D];浙江大学;2012年
10 吴宇峰;离子束辅助中频非平衡磁控溅射制备Ti-N-C膜的研究[D];东北大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026