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《2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集》2005年
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氮化铝薄膜发光性能的研究进展

佟洪波  巴德纯  肖金泉  闻立时  
【摘要】:介绍了AlN薄膜物理性质及制备方法;综述了AlN薄膜作为薄膜电致发光(TFEL)器件发光层的研究现状:对AlN薄膜的发光性能的应用前景做了展望。

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