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《中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集》 2004年
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薄膜材料的微波复介电常数测量

金浩  王德苗  董树荣  
【摘要】:为了精确测量厚度在1微米以下薄膜材料的微波复介电常数,提出了一种基于金属谐振腔微扰理论的测量方法和装置,对该方法进行了理论分析和实验验证,实验样品采用0.81微米厚度的MC-91(BaO-(SmNdLa)2O3-Bi2O3-TiO2)介质陶瓷薄膜,测试频率在2.4GHz左右,对测量结果进行了误差分析,其相对误差7%,其中3%的误差是由薄膜的厚度测量误差引起的。

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