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《中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集》2004年
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介质阻挡沿面放电特性研究

李雪辰  王龙  董丽芳  
【摘要】:本工作利用光学方法对梳状电极在惰性气体中的介质阻挡沿面放电进行了研究。首次发现大气压He气中介质阻挡沿面放电的辉光模式,即放电电流在每半个周期只有一个脉冲,脉冲宽度为1微秒左右。实验还发现正负半周的放电脉冲幅度和脉宽是不对称的。随着电压的升高,每周期的放电电流脉冲数目不断增多,当电压增加到一定程度,放电脉冲经历了一个从Townsend模式到辉光放电模式的变化过程。通过Ar的谱线763.72nm(2P6→1S5)and772.63nm(2P2→1S3)的强度对比,测量了沿面放电的等离子体电子温度,结果表明等离子体的电子温度随着电压的升高而增加,在电压不变时,电子温度随着气压的减小而增加。电子温度的范围在零到几个电子伏特之间。利用谱线AR696.543nm(2P2→1S5)的Stark加宽,可以确定等离子体电子密度。在电子温度为4电子伏特时,等离子体的密度为1014cm-3.

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