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《中国真空学会质谱与检漏专委会第十二届年会、中国计量测试学会真空校准专委会第七届年会论文摘要集》2004年
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中高真空范围的静态膨胀法校准装置中容积比测量方法探讨

郑可可  
【摘要】:静态膨胀方法(亦称作容积膨胀法,连续膨胀法)原理是将已知的小容积中压力较大的气体膨胀到另一大容积中,根据两容积的比值,推导出所获得的较小的压力值.在中高真空校准区域,静态膨胀法具有最高的精度,目前被世界各国家计星院,“‘泛地用于该范围段的真空基准装置。容积比的确定,在静态膨胀系统的设计、真空校准及周期复检过程中,是一个关键因素,是整个系统不确定度的主要来源之一。确定容积比大小可以有多种方法,包括重力(称重)法、膨胀法、定压法、磁悬浮真空计法等。本文对各种容积比测量方法进行了探讨及比较。并着重阐述了膨胀法原理,该方法属于现场原位测量方法,可以避免系统重新装配带来的新的不确定度。此外,针对该过程中涉及到的温度影响,给出了绝热条件下(实验室条件下难实现)和非绝热条件卜由于温度梯度、温度漂移带来的不确定度的理论修正方法。
【作者单位】:中国计量科学研究院热工处
【分类号】:TB772

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