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《2004’全国真空冶金与表面工程学术研讨会会议论文集》2004年
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有害气体的抽除与清洁真空的获得

杨乃恒  巴德纯  王晓冬  于治明  
【摘要】:本文主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法。

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