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《薄膜技术学术研讨会论文集》2003年
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实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响

曾飞  高阳  樊宇伟  潘峰  
【摘要】:从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co—Cu合金薄膜。当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相。对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化。斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用。

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