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《TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》2003年
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Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究

李丹  贺汀  潘峰  
【摘要】:正 本文采用电子束蒸镀技术制备Fe/Mo金属多层膜,研究了多层薄膜微结构和应力以及其之间的关系。实验中制备了两组Fe/Mo多层膜(固定Fe层厚度为1.5nm,改变Mo层厚度1.0-0.5nm,固定Mo层厚度为2.0nm,改变Fe层厚度1.5-7.5nm)。RBS、X射线衍射分析结果表明,电子束蒸镀的Fe/Mo多层膜具有良好的调制周期性,

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