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《2001年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集》2001年
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纳米定位平台—基于“碰撞驱动法”

原培章  李小凡  王忠  
【摘要】:正 纳米技术(纳米尺度:1-102mm)是21世纪全球重大的高技术。纳米定位平台是微LSI制造、MEMS制造、超精密加工和生物工程等领域高度发展的难题。高精度定位平台为实现纳米位移,国际学术界提出很多新思想、新方法。有“振动驱动法”、“尺蠖驱动法”以及“冲击驱动法”。中科院沈阳自动化研究所经过理论和试验研究,提出“碰撞驱动法”。

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