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《中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集》2000年
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双晶体膜厚控制仪

李仲君  
【摘要】:本文介绍一种真空蒸发时用的膜厚控制仪,传感器采用双晶体形式。测量精度优于2%,稳定度高,重复性好。
【分类号】:TB43

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