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《2008年全国振动工程及应用学术会议暨第十一届全国设备故障诊断学术会议论文集》2008年
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超声引线键合质量检测方法研究

冯武卫  孟庆丰  谢友柏  范虹  
【摘要】:提出了一种利用超声引线键合系统阻抗的变化来识别键合强度的在线质量检测方法.基于采集到的换能器在键合过程中输入的电压和电流信号,利用Hilbert变换,计算得到其键合过程中阻抗的变化.通过对大量键合点进行阻抗监测和强度测试,发现链合点的强度与其键合过程中阻抗的变化有明显的关系.利用神经网络方法对键合过程中系统阻抗的变化进行分类和识别,估算的键合强度与实测数据基本吻合.键合过程中系统阻抗的变化可以作为键合点键合质量监测的指示器.研究结果为超声引线键合在线质量监测提供了一条新途径.

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