收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MOCVD热壁式反应器化学反应分析及数值模拟

彭鑫鑫  左然  于海群  
【摘要】:正传统的水平式反应器设备简单,操作方便,但存在着许多缺陷,如底部加热造成热对流涡旋、反应器过长导致的反应物驻留时间长。由此引发一系列寄生反应,造成反应前体的利用率以及GaN的生长效率低,不利于GaN生长。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 常伟;;InP反欧泊结构三维光子晶体的制备及研究[J];科技资讯;2008年16期
2 桑文斌,K.Durose,A.W.Brinkman,J.Woods;MOCVD过程中金属有机源(C_3H_7)_2Te和(CH_3)_2Cd热裂解机理质谱实时研究[J];化学学报;1997年06期
3 季振国;娄垚;毛启楠;;沉积温度对高Al含量的Al_xGa_(1-x)N薄膜的影响[J];无机材料学报;2010年04期
4 张颖;林樑旭;阎子峰;胡喜军;;新型MOCVD法以SBA-15为模板制备墨水瓶型孔结构的机理研究[J];科学通报;2009年14期
5 傅竹西,林碧霞;MOCVD系统外延生长Ⅲ-Ⅴ族化合物时Ⅴ/Ⅲ比的计算偏差[J];发光学报;1994年03期
6 桑文斌,K.Durose,A.W.Brinkman,J.Woods;ZnTe MOCVD过程中金属有机源双甲基锌和双异丁基碲热裂解研究[J];原子与分子物理学报;1996年04期
7 徐大鹏,王玉田,杨辉,郑联喜,李建斌,段俐宏,吴荣汉;立方相GaN/GaAs(100)质量的X射线双晶衍射研究[J];中国科学A辑;1998年12期
8 袁洪涛,张跃,谷景华;原位生长高度定向ZnO晶须[J];物理学报;2004年02期
9 王艳艳;姜银珠;高建峰;刘铭飞;孟广耀;;MOCVD前驱物Fe(DPM)_3的制备与性能表征[J];无机化学学报;2006年07期
10 李述体,莫春兰,李鹏,王立,熊传兵,彭学新,江风益;掺Si对MOCVD生长的GaN单晶膜的黄带发射及生长速率的影响[J];功能材料与器件学报;2000年04期
11 赵丽娟,杨宝钧,钟国柱;MOCVD法制备ZnS:Mn薄膜中锰掺杂浓度的实验研究[J];稀有金属;1996年04期
12 江风益,李述体,王立,熊传兵,彭学新,辛勇,姚冬敏;MOCVD生长GaN:Si单晶膜的研究[J];发光学报;2000年02期
13 赵丽娟,钟国柱,杨宝钧;MOCVD法ZnS∶Mn电致发光薄膜的结晶与光学特性[J];稀有金属;1996年05期
14 潘群峰;MOCVD材料生长的在位反射谱监测与表面不均衡平整度的模拟计算[J];闽西职业大学学报;2004年02期
15 ;1993年第17卷目次汇编[J];稀有金属;1993年06期
16 王庆,王志模;气相色谱分析MOCVD中的Ⅲ-Ⅴ族挥发性无机氢化物及其反应尾气[J];应用化工;2000年04期
17 夏长荣,郭晓霞,汪学军,陈初生,彭定坤,孟广耀;Pd-Y合金膜的MOCVD研制[J];高等学校化学学报;2000年01期
18 赵佰军,杜国同,王金忠,杨洪军,张源涛,杨小天,马艳,刘博阳,杨天鹏,刘大力;声表面波器件用〈110〉取向ZnO薄膜的MOCVD生长[J];高等学校化学学报;2003年10期
19 鲁智宽,于淑琴,杨兆荷,蒋民华;铋、锶、钙、铜有机源的研究[J];稀有金属;1993年06期
20 张兆春,黄柏标,崔得良,秦晓燕,蒋民华;MOCVD生长A1_xGa_(1-x)P/GaAs异质外延层的结晶完整性初探[J];人工晶体学报;2000年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭鑫鑫;左然;于海群;;MOCVD热壁式反应器化学反应分析及数值模拟[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
2 李亮;李忠辉;董逊;周建军;孔月婵;姜文海;陈辰;;AlN成核层对MOCVD系统中AlN生长的影响[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
3 殷海波;王晓亮;胡国新;冉军学;张露;肖红领;李晋闽;;MOCVD生长Mg掺杂p型GaN薄膜材料的研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
4 蔡宏中;胡昌义;陈力;王云;;铱薄膜的MOCVD沉积效果研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
5 夏晓川;赵龙;史志峰;;采用MOCVD方法在GaAs/p+Si衬底上生长的ZnO薄膜光学和电学特性[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
6 杨泰生;谢春燕;张跃;;制备工艺对MOCVD法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜结构及性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
7 沈波;许福军;;GaN基异质结构的MOCVD生长和物性研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
8 苗振林;许福军;宋杰;黄呈橙;于彤军;杨志坚;沈波;;晶格匹配In_(0.18)Al_(0.82)N/GaN异质结构的MOCVD生长研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
9 张运炎;范广涵;;MOCVD在ZnO材料生长方面的应用及最新研究进展[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
10 宋杰;许福军;苗振林;黄呈橙;杨志坚;沈波;;采用In_xGa_(1-x)N沟道层的GaN基异质结构MOCVD生长及其高温电学性质研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 于海群;氮化镓MOCVD化学反应动力学分析及其数值模拟研究[D];江苏大学;2012年
2 薛彦红;离子注入掺杂ZnO薄膜结构和物性研究[D];天津大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 赵安琪;负载型硅化钴的MOCVD制备及其催化性能[D];大连理工大学;2010年
2 肖清泉;稀土掺杂YAG荧光粉和Y-TZP纳米粉的制备及表征[D];厦门大学;2007年
3 张义颖;有机膦稳定的铜(I)/银(I)配合物的合成、表征以及含硅/铁单一源的合成和纯化[D];南京航空航天大学;2008年
4 杜芳黎;稀土配合物的合成、表征及掺杂氧化锌的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978