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《第十一届全国MOCVD学术会议论文集》2010年
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以光辅助MOCVD法制备1″双面YBa_2Cu_3O_(7-x)外延膜

李善文  李国兴  杨皓宇  李万程  张宝林  杜国同  周本初  
【摘要】:正大面积双面YBa_2Cu_3O_(7-x)(YBCO)外延膜是制备超导微波滤波器的基础材料。目前用来制备大面积双面YBCO外延膜的方法主要有磁控溅射法、脉冲激光沉积法、多源共蒸发法、MOD法及MOCVD法等。其中MOCVD法制备外延膜与其他方法相比具有生长速度快、可沉积

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