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《第十一届全国MOCVD学术会议论文集》2010年
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Synthesis of Ancillary Ligand Stabilized Rare Earth Metals Alkoxides Precursors for MOCVD

【摘要】:正Thin films of metal oxides are paid more attention recently due to their wide application in the fields of microelectronics,telecommunications[1]and references therein,such as computer memories,gate dielectric layers,infrared detectors.The techniques used for the deposition of these oxide films,can be
【分类号】:TN304.055

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